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采用改良的传统化学镀液,无需加热,在激光照射下得到了P-Si表面选择性的钯镀层,采用SEM、AES、RBS和XPS技术对2种含不同还原剂的镀液中得到的镀层进行了......
把CO2激光聚焦在玻璃基底上的小区域内,热解SnCl4·5H2O来实现SnO2薄膜的沉积。用X-Y扫描获得了选择性薄膜图形。薄膜的电阻率约为1×10(-2)Ω·m,可......
评述薄膜光学技术的发展动向及铜、金、铝光学薄膜的激光化学汽相沉积法。...
综述了LCVD制备薄膜的原理和特性,国内外对LCVD的研究应用情况及目前最新的研究方向。阐明了LCVD技术在制备薄膜过程中的生长低温......
本文旨在应用激光干涉技术研究激光干涉光刻诱导化学沉积和激光干涉光刻直写制备微/纳米级金属栅极。首先,针对电池表面光栅结构进......