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以菲涅耳直边衍射理论为基础，通过大量实验；对影响激光辅助化学刻蚀图形效果最为明显的直边、宽缝和交叉三种衍射行为进行研究；获得了......
半导体的激光诱导液相腐蚀与普通化学腐蚀相比,可以有效地消除晶体取向影响,制作出更加多样化的腐蚀图形;与激光诱导气相腐蚀相比,......
