点衍射干涉相关论文
超精密光学元件面形检测和系统波像差在投影物镜光刻、引力波探测、惯性约束激光核聚变等重要工程项目和前沿科学研究中有着举足轻......
随着制造业测量需求提高,点衍射干涉技术在三维绝对定位得到了研究与发展。现场无导轨三维定位为基于点衍射干涉技术三维绝对定位......
针对基于PZT移相的点衍射干涉三维测量系统中存在采样时间间隔过长和易受外界扰动影响等问题,提出了用于瞬态三维测量的点衍射干涉......
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象，论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设......
在能源技术、国防军事等需求牵引下,高功率激光装置的研究势头迅猛,高精度光学元件的使用量明显增加,对于光学元件位相缺陷的检测......
干涉显微(Interference microscopy)是利用光波干涉和显微放大原理对微小物体表面或厚度分布进行非接触测量的光学手段。它为半导......
目前在扫描力显微镜中经常用到的氮化硅三角形探针本身可以作为一个基于点微射干涉的微干涉元件。本文讨论了一种根据这一原理设计......
本文首先分析了AFM的原理及其工作模式,在此基础上提出并设计了一种新颖的非接触谐振增强型AFM闭环反馈控制方案。该方案根据开环......
