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界面态陷阱密度相关论文
超薄栅及高k栅介质MIS结构的参数提取研究
随着集成电路技术的发展,器件尺寸不断减小,为半导体器件建立精确的模型以模拟器件特性对微电子技术的发展是一件非常重要的工作.......
学位
超薄栅MIS结构
高K栅介质MIS结构
量子化效应
多晶硅耗尽效应
等效氧化层厚度
栅介质层固定电荷密度
界面态陷阱密度
等效电路模型参数
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