白光干涉测量相关论文
白光干涉测量作为一种非接触测量方式广泛应用于光学元件和微机电系统等精密元件面形检测和测量,但是线性位移机构移动精度不足很......
介绍一种非接触式测量大长径比精密圆柱轴孔内外径的方法,该方法基于移相干涉测量技术,研制的高精度内径及外径测量系统以一等量块......
从回转密封表面微观结构的形貌特征出发，对轴类零件回转面的微观构造缺陷有可能引起动力总成类产品内腔的工作介质外泄，从而导致因功......
采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究。使用Matlab软件,选取了两......
随着计算机技术的高速发展,数字化处理的进程日益迅速,特别是在光学中,这种技术已经普遍地应用于全息图的记录和再现、精密测量等......
非本征珐布里-泊罗干涉传感器(EFPI)已经被证明适用于压力和温度的精确测量。我们介绍一种基于白光干涉仪的路径匹配完全测量方法......
基于新型的峰值分离算法，提出了白光干涉法（垂直扫描白光测量法）的一种新的应用——测量覆盖透明薄膜的物体表面的三维轮廓，并同时测量......
白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、......
为了解决传统白光干涉测量技术中对线性位移机构的位移精度要求过高的问题,本文提出了一种全视场外差白光干涉测量技术。该技术主......
