外差干涉测量相关论文
近年来随着超精密加工制造及精密计量等领域的快速发展,位移测量精度需求逐渐由纳米量级向亚纳米甚至皮米量级过渡。非共光路外差......
研究了一种复合光纤马赫-曾德尔外差干涉测量系统,并采用该系统对位移进行在线测量。基于光纤光栅只反射布拉格波长的特性,构建了......
针对微机电系统等微纳米尺度器件的振幅测量,基于外差干涉原理设计开发一种微振动模态测试系统,由光路和解析电路两部分构成,在光......
阐述了一种新颖的横向剪切－外差干涉有测量方法，这种方法集横向剪切干涉测量方法与外差测量方法于一体，使二者的优点得以发扬。由于取......
针对多自由度测量技术中存在的测量范围有限、精度低和阿贝误差等问题,设计了一种大行程、高精度、可溯源、四自由度同时测量的外......
随着超精密工程与纳米技术的发展,外差激光干涉测量技术正在向高加速度、高测速、亚纳米精度的方向发展。影响亚纳米精度的因素众......
在国际单位制（SI）7个基本单位中,千克kg是唯一一个没有被量子化定义的基本单位。千克的量子化定义方法因其科学意义之重大,科研难度......
为了解决传统白光干涉测量技术中对线性位移机构的位移精度要求过高的问题,本文提出了一种全视场外差白光干涉测量技术。该技术主......
为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案......
