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直角波导相关论文
硅凹槽中硅反蛋白石光子晶体直角半波导的制备
探索了利用PECVD方法和ICP技术制备硅凹槽中硅反蛋白石(opal)结构光子晶体直角半波导的工艺条件,研究了射频功率、气体流量、反应室压......
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三维光子晶体
反蛋白石结构
Si凹槽
直角波导
3D photonic crystal
inverse opal structure
Si flute
o
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