由于射频容性耦合等离子体(Radio-Frequency Capacitively Coupled Plasmas,rf-CCPs)源结构简单并且能够产生大面积均匀等离子体,......

容性耦合等离子体（CCP）源具有结构简单、能够产生大面积的等离子体等优势,被广泛应用于材料处理工艺,比如半导体制造业和平板显示器......

本文采用相分辨发射光谱法对低气压双频容性耦合氩气、氧气和氩-氧混合气放电等离子体进行了时间空间分辨实验研究,并讨论了不同放......