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电子激发动力学相关论文
脉冲调制射频容性耦合等离子体中高能电子动力学研究
容性耦合等离子体(CCP)源具有结构简单、能够产生大面积的等离子体等优势,被广泛应用于材料处理工艺,比如半导体制造业和平板显示器......
学位
脉冲调制
容性耦合等离子体
相分辨发射光谱
电子激发动力学
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