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真空物理沉积相关论文
PVD工艺及带电粒子辐照对HfO2和MgF2膜结构及光学性能的影响
本文利用ORTUS-700电子束真空镀膜设备和X射线衍射仪、原子力显微镜、X射线光电子能谱分析仪等多种分析方法,系统研究了用真空物理......
学位
PVD
紫外光学薄膜
结构与缺陷
光谱
辐照
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