硅半导体器件相关论文
随着半导体器件特征尺寸的不断缩小，器件内部的应变及其对性能的影响已经成为一个重要的研究课题。本文使用有限元法研究了一种采用......
作者利用低温氧等离子体处理聚硅烷涂层，成功地制备SiO2膜，由IR谱给出的Si-O键的吸收峰波数，随氧等离子体处理时间的不同在1065－1088cm......
显微拉曼(μRS)在硅半导体器件生产中有许多重要和独特的应用.它可以提供一些非常重要的,于传统表征技术, 如四探针法,TEM, AFM, S......
硅半导体是现代信息技术的基础。现在，各种各样的硅半导体器件构成了当今微电子技术的主体，并且看来这种状况还要继续保持一段相当长......
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