【摘 要】
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显微拉曼(μRS)在硅半导体器件生产中有许多重要和独特的应用.它可以提供一些非常重要的,于传统表征技术, 如四探针法,TEM, AFM, SEM 及XRD,相辅助的信息.本文报道μRS 在硅
【机 构】
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显微拉曼(μRS)在硅半导体器件生产中有许多重要和独特的应用.它可以提供一些非常重要的,于传统表征技术, 如四探针法,TEM, AFM, SEM 及XRD,相辅助的信息.本文报道μRS 在硅器件研究中的一些重要应用.我们成功的应用μRS研究技术上重要的TiSi2 C54相在TiS2 C40 模板上生长的过程,以及NiSi, NiSi2, CoSi, CoSi2 的形成过程.运用Si 衬底的拉曼信号,超薄硅化物薄膜的厚度(10nm)可以得到非常精确,便利的测量.薄膜的均匀性及晶粒的取向也可以在微米范围内进行
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