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提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。......
本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。......
