阐述了利用电镀制作磁体微结构的方法，采用这一工艺方法制作了一种基于硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁体阵列的......

主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺，该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl silox......

提出了一种基于硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器，由振动膜层和线圈层两层构成。对该......