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主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺，该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane），在其中嵌入CoNiMnP永磁体阵列，采用电镀方法制作磁体阵列，由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化。磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为（50×50×20）μm，其矫顽力，剩磁和最大磁能积分别为2623Oe（208．73kA／m），0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。