硬碳膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

硬碳膜相关论文

采用MCECR等离子体溅射方法制备硬碳膜

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MCECR等离子体溅射硬碳膜摩擦系数纳米硬度

基片偏压对MCECR溅射硬碳膜特性的影响

采用封闭式电子回旋共振(MCECR)氩等离子体溅射碳靶的方法在硅片上沉积了高质量的硬碳膜,膜层厚度约40nm. 使用X射线光电子能谱仪(......

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MCECR溅射硬碳膜摩擦特性纳米硬度薄膜结构

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