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硼掺杂直拉单晶硅相关论文
硼掺杂单晶硅微缺陷及其快速热退火行为研究
本文利用快速热处理(Rapid thermal processing,RTP)技术及低—高常规热处理工艺,对硼掺杂单晶硅中的微缺陷进行了系统研究。重点......
学位
硼掺杂直拉单晶硅
微缺陷
洁净区
快速热处理
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