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碳弧稳定性相关论文
过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的碳弧稳定性研究
介绍自行研制的一套过滤式阴极电弧沉积设备,并以石墨作为靶材进行类金刚石薄膜的沉积研究,碳弧本身的惰性限制了电弧的稳定性。电弧......
期刊
类金刚石薄膜
阴极电弧沉积
碳弧稳定性
diamond-like carbon thin filmfiltered vacuum arc depositiong
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