阴极电弧沉积相关论文
研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备，并利用该设备成功地获得了类金刚石薄膜。扫描电镜分析表明：获得的薄膜在硅基片上是光滑和致密的......
采用过滤式阴极电弧沉积的方法获得类金刚石薄膜，喇曼光谱的分析表明，这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜，喇曼光谱的高斯分解研究表明......
本文研究了真空阴极电弧沉积 TiN 装饰膜的工艺及其应用.利用 X 射线衍射、扫描电镜等方法,分析了膜层性能与沉积工艺之间的关系,......
用TiB2作阴极靶,采用优化的真空阴极电弧沉积工艺制备的TiB2薄膜是由TiB2,Ti2B5,TiB和Ti组成的多相结构.薄膜的摩擦磨损试验表明:T......
阐述高保真类金刚石/钛高音振膜的研发和生产.在制备品质及外观兼优的纯钛振膜的基础上,利用阴极电弧沉积技术在钛膜上沉积类金刚......
对真空阴极电弧沉积TiN装饰膜的沉积工艺和膜层性能的关系进行了研究。结果表明:适当选择N_2分压和负偏压对于改善基体表面离子轰......
采用阴极电弧沉积方法，制备了与靶材成分基本相同的多元合金Ｉｎｃｏｎｅｌ６２５膜层。用ＸＲＤ，ＳＥＭ，ＴＥＭ研究了不同入射角下所获膜层中的织构分布及其成因。......
成功地研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备，并利用该设备成功获得了类金刚石薄膜。类金刚石薄膜的扫描电镜分析表明：获得的薄膜在硅基......
介绍自行研制的一套过滤式阴极电弧沉积设备，并以石墨作为靶材进行类金刚石薄膜的沉积研究，碳弧本身的惰性限制了电弧的稳定性。电弧......
