磁悬浮直线运动相关论文
磁悬浮支撑技术具有无摩擦、无磨损等优点而获得广泛关注。掩模台是光刻机的核心单元,对磁悬浮掩模台的设计制造与控制的研究是一......
为实现定位平台的大运动行程和高运动精度,建立了一种新型磁悬浮直线运动平台,该平台由磁悬浮运动装置和电磁直线驱动装置组成,具......
提出一种新型大行程磁悬浮直线精密运动平台,为了解其各种工况下的固有频率和振型,从而指导磁浮平台的结构设计及控制器设计,运用......
磁悬浮直线运动是运用电磁力实现运动体无机械接触地稳定悬浮于直线导轨上方指定位置,同时利用电磁直线驱动技术驱动运动体沿导轨......