用（ＢＦ２）＾＋替代Ｂ＾＋注入，是一种重要的注入掺杂形成浅结的工艺手段。（ＢＦ２）＾＋注入也有不利的一面。剩余Ｆ原子的积聚以及大量二次缺陷的存在，都将影响ＰＮ结构的......