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用（ＢＦ２）＾＋替代Ｂ＾＋注入，是一种重要的注入掺杂形成浅结的工艺手段。（ＢＦ２）＾＋注入也有不利的一面。剩余Ｆ原子的积聚以及大量二次缺陷的存在，都将影响ＰＮ结构的性能，利用离子束损伤技术可以有效地消除上述＋注入的不足之处。该文利用ＳＩＭＳ技术，测试分析经预注入低能（ＢＦ２）＾＋后，直接进行高温热温热退火的样品，以及预注入低能（ＢＦ２）＾＋后，直接进行高温热退火的样品，以及预注入低能（ＢＦ２）＾＋