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用金属蒸发真空弧离子注入方法制备了各种稀土金属的硅化物,定义1μA/cm2时的电场为开启电场,发现它们的开启电场在15～20V/μm之间.......
稀土金属元素的硅化物在n型硅衬底上具有高电导率和低肖特基势垒的特点，在大规模集成的微电子器件领域具有很好的应用价值．文章系统......
随着集成电路器件尺寸的持续缩小,与Si超低接触电阻率的要求以及新型源漏结构器件的出现,迫切需要降低金属硅化物的接触势垒。因此......
