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稀土金属元素的硅化物在n型硅衬底上具有高电导率和低肖特基势垒的特点，在大规模集成的微电子器件领域具有很好的应用价值．文章系统介绍了在Si（001）表面自组装生长的稀土金属硅化物纳米结构的研究进展，较全面地讨论了退火温度、退火时间以及稀土金属表面覆盖度等生长条件对纳米结构生长的影响作用，并在此基础上分析了纳米线、纳米岛的晶化结构，衬底对纳米结构生长的影响，以及纳米结构的演化过程．搞清楚这些内在的生长机理，有助于人们今后实现可严格控制稀土金属硅化物纳米结构的形貌尺寸和分布的自组装生长．此外，文章还介绍了目前人