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等离子体磁聚相关论文
磁控溅射铁磁性靶材的研究进展
磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一......
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等离子体磁聚
铁磁性靶材
靶材设计
磁控溅射
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