铁磁性靶材相关论文
Co-Cr-Ta合金薄膜是一种重要的磁记录介质,目前广泛应用于磁记录领域。Co-Cr-Ta合金具有铁磁性,有高的磁导率。对于铁磁性靶材来讲......
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的......
磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一......
