等离子气预处理相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

等离子气预处理相关论文

与CMOS工艺兼容的低电压Flash器件及工艺研究

FlashMemory器件尺寸不断减小，要求低的工作电压。降低Si-SiO2势垒是降低栅工作电压的可行办法。本论文采用反应离子刻蚀(RIE)......

学位

低电压闪存器件隧穿氧化层反应离子刻蚀等离子气硅片等离子气预处理微电子学固体电子学

看过本文同时还关注