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电化学沉积DLC膜及其表征
采用电化学沉积方法,甲醇有机溶剂作碳源,在直流电源作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜.薄膜不溶于苯、丙酮等有机溶剂,具有较高的......
期刊
电化学沉积
DLC膜
甲醇
单晶硅
硬度
线性插入法
类金刚石碳膜
electrochemical deposition
DLC
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