脉冲电弧源相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

脉冲电弧源相关论文

真空阴极电弧离子镀层中宏观颗粒去除技术研究

真空阴极电弧离子源具有离化率高(90%以上)、离子能量可控、沉积速率高等优点,广泛应用于等离子体表面改性领域。然而弧源在提供镀......

学位

宏观颗粒脉冲电弧源电磁线圈过滤器复合成分膜多层结构膜

探讨电弧离子镀中“大颗粒”净化方法

传统电弧离子镀存在着大颗粒污染、沉积温度相对较高和易引发微弧击穿效应等诸多不足,制约其在精细薄膜、低温沉积和功能薄膜等方......

期刊

电弧离子镀 “大颗粒”污染脉冲电弧源磁过滤脉冲偏压

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