自修整性相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

自修整性相关论文

铜的固结磨料化学机械研抛工艺

铜因其延展性，磨削、研磨过程中极易粘附在工具表面，减小了容屑空间，是一种典型的难磨削（研磨）材料。固结磨料化学机械抛光由于其诸多优......

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铜固结磨料研磨抛光垫自修整性碱性抛光液表面粗糙度材料去除速率

固结磨料研磨抛光垫基体的砂浆磨损特性研究

在化学机械研磨抛光（CMP）行业，固结磨料研磨抛光垫（FAP）由于诸多优势成为该领域的研究热点，为了不断提高加工效率，改善加工效果，人们开展了......

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固结磨料研磨抛光垫性能评价树脂基体砂浆磨损率自修整性

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