薄膜内应力相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

薄膜内应力相关论文

基于程氏理论位错存在临界尺寸及薄膜内应力的研究

程开甲改进的Thomas-Fermi-Dirac理论(TFDC，又称程氏理论），是国内继余氏理论（EET）以来，对电子理论的又一次探索。TFDC理论在位错稳定的临......

学位

临界尺寸晶粒尺寸薄膜内应力纳米晶力学性能双槽法多层膜

基底温度对Ti/TiN薄膜内应力的影响

采用反应直流磁控溅射法，在硅基底上制备了一系列不同结构的Ti／TiN多层薄膜。采用x射线衍射仪（XRD）对薄膜物相进行了分析，研究了溅射沉......

期刊

磁控溅射多层薄膜基底温度薄膜内应力

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