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期刊
RF MEMS开关加工工序多,过程复杂,加工难度较大,影响开关加工质量的因素众多。从工艺流程入手,对加工过程中的牺牲层平坦化、牺牲......
RFMEMS器件加工工艺复杂,加工过程繁琐。其中重要工序如牺牲层平坦化及释放、薄膜微桥尤其固支及悬桥的电镀层厚度及均匀性是其中......
