厚度及均匀性相关硕士博士期刊学术论文

RFMEMS器件加工工艺复杂,加工过程繁琐。其中重要工序如牺牲层平坦化及释放、薄膜微桥尤其固支及悬桥的电镀层厚度及均匀性是其中......