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关于SiO薄膜中的高场诱生缺陷性质的比较研究
SiO薄模中的高场诱生缺陷是引起MOS器件特性蜕变以及器件失效的主要原因之一,因此对诱生缺陷进行了广泛的研究[1]。这类缺陷在SiO禁......
会议
SiO薄膜
诱性缺陷
关于SiO<,2>薄膜中的高场诱生缺陷性质的比较研究
SiO薄模中的高场诱生缺陷是引起MOS器件特性蜕变以及器件失效的主要原因之一,因此对诱生缺陷进行了广泛的研究[1]。这类缺陷在SiO禁......
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薄膜
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