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采用调制偏压射频控溅射技术在多晶Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ－Ｃ金属基带上制备钇稳定的ＺｒＯ２薄膜（ＹＳＺ），得到了ｃ－轴织构和部分平面内双轴织构的ＹＳＺ薄膜。用Ｘ射线衍射θ－２θ扫描、ω......
