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超快速瞬态热阻试法相关论文
基于超快速瞬态测试技术的超薄硅和锗膜热导研究及其对器件自热效应的影响
随着集成电路技术的发展,晶体管的尺寸的减小和新结构的导入(FinFET和SOI),自热效应对晶体管性能和可靠性的影响也越来越严重。由......
学位
超快速瞬态热阻试法
超薄硅/锗薄膜
截面热导
弹道输运
声子-边界散射
自热效应
应变
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