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磁控濺鍍法沉積TiO2薄膜之基板預應變對機械性質之影響
本研究利用沉積TiO2薄膜於軟性基板前,加裝自行設計之夾治具控制PET基板之預應變大小,用以模擬迴轉式磁控沉積系統之PET基板承受張......
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預應變
磁控濺鍍
軟性基板
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