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输入量控制相关论文

状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响，自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差．利用状态空间分析法......

期刊

MEMS静电驱动瞬时特性状态反馈输入量控制状态空间 electrostatically actuated MEMS transient behavio

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