状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Xiongbaobao520

【摘要】

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MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响，自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差．利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理．基于状态

【作者】

：

冯仁剑于尚民万江文吴银锋

【机构】

：

北京邮电大学自动化学院测控与通信微系统研究中心

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

MEMS静电驱动瞬时特性状态反馈输入量控制状态空间 electrostatically actuated MEMS transient behavio

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MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响，自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差．利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理．基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法，即根据系统要求指标来配置极点，实现最优控制．仿真实验结果证明，该方法能提高系统的瞬时特性．

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