以SDS—3电子束曝光机的聚焦透镜系统为基础，在0．005弧度半张角，3×10^-5的高压纹波，50mm的像距，30×30mm扫描场的条件下，研究了......

分析了LaB6电子枪的Kramers-Heisenberg散射与电子束能量分布.以SDS-3电子束设备的电子枪为基础,加速电压为30 kV,通过双曲凹面加......