电子束曝光机相关论文
本文介绍了以CPLD(ComplexProgrammableLogicDevice,复杂可编程逻辑器件)和高精度数模转换芯片为核心器件构成的电子束曝光机定位......
本文介绍了DB7亚微米电子束曝光机电定位系统的大面积、高密度印制电路板的设计,分析了在元器件布局、连线中的各种耦合干扰源,并......
本文主要内容共6章.第一章简单介绍了电子束曝光技术的背景知识,包括国内外电子束曝光技术的发展过程和趋势、电子束曝光机以及图......
本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果.......
介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.......
本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行......
与传统的直写式电子束曝光机相比,高能电子束曝光系统由于减小了入射电子的前向散射,在理论上应该具有更高的分辨率.本文在阐述了......
可编程DSP芯片是一种具有特殊结构的微处理器,为了达到快速进行数字信号处理的目的,DSP芯片一般采用哈佛结构、流水线操作功能、单......
介绍扫描显像的基本原理,亚微米电子束曝光机对扫描显像系统的基本要求,扫描显像系统的基本组成部分和实现的功能.对今后扫描显像......
本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.......
本文介绍了M24100-1/UM电子束曝光机中的激光工件台控制系统的工作原理、硬件结构、软件功能、以及使用情况,重点介绍其控制技术.......
本文介绍了数控电流源中的ADC技术,V/F转换法及如何利用单片机和V/F变换器构成ADC,达到数控电流源的精度和稳定度要求,增强系统的......
通过改进电子束曝光机图形控制器的硬件设计,使矢量扫描方式工作时S形扫描的图形各边的质量一致.......
介绍ＤＢ７电子束曝光机制作２英寸ＧａＡｓ单片集成电路掩模板图形情况和结果，并结合机器性能特点、关键性措施等对亚微光曝光图形精度的保证进行了......
该语言是一种主要用于电子束制版的集成电路设计语言。由于电子束曝光机制版的特点，语言考虑了一些亚微米图形的要求，并具有拚接、分......
对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。提出了实施自动调整的方法。......
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描......
主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。......
介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。......
电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接......
数据格式转换软件是电子束曝光机不可缺少的辅助工具。本课题的主要任务是研制与新型图形发生器相匹配的数据格式转换软件。该软件......
本论文主要介绍了图形发生器软件系统中，涉及曝光功能的软件部分的研究。 论文分析了国内外电子束曝光技术的发展和图形发生器的......
电子束曝光机系统是微电子工业和微细加工研究与开发不可缺少的大型精密设备。图形发生器是该系统中的一个核心部件。本论文介绍了......
该文就计算全息的理论作了一些探讨,详细推导了修正离轴型计算全息透镜制作与再现的数学模型.并结合电子束曝光机的特点进行了大量......
本文在Bresenhm算法的基础上,提出一种圆生成算法,这种算法应用于电子束曝光机基于DSP芯片的新型图形发生器中.它通过实时计数,可......
期刊
研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的分割、压缩算法 ,针对传统的图形数据分割、压缩算法存在的主要缺点 ,提出了新的分割算......
提出了一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器，给出电路结构，基于对其工作原理的分析，介绍了提高陷波器跟踪精度的设......
本文介绍了ＤＹ－５型微米电子束曝光机的主要技术性能；最细特征线宽０．４μｍ，图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ＾２和２×２ｍｍ＾２；最高扫......
