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SOI衬底对3C-SiC异质外延薄膜内残存应力的影响
在一组具有不同厚度表层硅的SOI衬底上异质外延SiC薄膜.Raman测试结果表明,SiC薄膜中的残存应力随着表层硅厚度的减薄而降低,采用力平......
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喇曼
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