钛铌酸锶钡薄膜相关论文
利用硅平面工艺和氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积一层厚45 nm的钛铌酸锶钡(Ba1-XSrXNbyTi1-yO3)薄膜,制成Al/Ba1-XSrXNbyTi1......
本研究利用氩离子束镀膜技术和标准IC制造工艺在硅衬底上淀积一层钛铌酸锶钡薄膜，从而制备形成平面型薄膜光敏电阻器。测试和分析了......
