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研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数......
研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化．器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅．实验发现器件的热释电系数，吸......
