采用双离子束技术制备Ｚｒ—Ｏ薄膜，由氩离子溅射沉积锆的同时进行氧离子辐照，对形成的Ｚｒ－Ｏ薄膜进行了ＲＢＳ及ＸＰＳ分析．结果表明，形成膜均由三部分组成：表面......