作者采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击,随着注入离子束流密度的变化,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化,其形成......

采用双离子束技术制备Ｚｒ—Ｏ薄膜，由氩离子溅射沉积锆的同时进行氧离子辐照，对形成的Ｚｒ－Ｏ薄膜进行了ＲＢＳ及ＸＰＳ分析．结果表明，形成膜均由三部分组成：表面......