锆钛酸铅薄膜相关论文
该文基于前人的实验理论,率先研究了锆钛比为94/6的锆钛酸铅薄膜的性能.实验中薄膜样品的结构为Pt/PZT/YBCO/LAO,LAO为基底材料,Pt......
锆钛酸铅薄膜材料因具有优异的铁电、压电、热释电等性能受到研究人员的广泛关注。以锆钛酸铅铁电薄膜为关键材料的传感器、存储器......
MEMS技术的不断发展，使人们制造出众多的MEMS器件和产品，但是如何给MEMS器件供能成了目前亟待解决的问题。传统的电池由于尺寸太大难......
近半个世纪以来,科学和生产发展的事实说明,电子学的发展深刻影响着当今社会的各个领域。而在电子学的发展中,起重要作用的是在理......
PLZT、BST铁电薄膜具有良好的光学、电学和电光性能,因而在光波导、电光开关等方面具有广阔的应用前景。本文完成了PLZT靶材配方研......
本文采用溶胶凝胶方法和射频磁控溅射方法制备了锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3，PZT)薄膜。利用广角X射线衍射技术研究了PZT薄膜的相......
锆钛酸铅(Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3,简写为PZT)薄膜是一种极具发展前景的电子功能薄膜,它具有剩余极化大、介电常数大、使用温度范围广......
锆钛酸铅(PZT)薄膜材料因其具有良好的热释电、压电、铁电及光电等特性,在微电子学、光电子技术和微电子机械系统等高科技领域有着......
铁电材料具有优越的介电性、铁电性、压电性、热释电性以及电光效应、声光效应等特性,Pb(Zr,Ti)O3作为最有前景的铁电材料之一,已......
锆钛酸铅(PZT)作为一种典型的钙钛矿结构铁电材料,具有突出的介电、压电和铁电性质。由于其在微传感器、微执行器等微电子机械系统......
椭偏光谱测量是一种非接触、非破坏性的光学分析技术，由于其尤其适合薄膜测量，因此椭偏光谱测量是研究薄膜材料光学性质的重要手段之......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
通过简单的溶胶–凝胶法和快速热处理工艺,获得了在Pt/Ti/SiO2/Si基片上生长良好的PZT薄膜.制膜工艺简单,不需要回流和高温去结晶......
在Pt／Ti／SiO2／Si基片上，通过多次匀胶旋涂-预热处理工艺制备了PbTiO3（PT）无机薄层夹心的锆钛酸铅（1ead zirconate titanate，PZT）薄膜，然后经6......
以锆钛酸铅（PZT）薄膜作为驱动材料，制备了变形镜的微致动器阵列．使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真，得到了驱动器上电极尺寸、Si弹......
以锆钛酸铅薄膜（PZT）为例，分析了国内外铁电薄膜退火的各种方法。针对解决铁电薄膜基底高温生长工艺与硅集成电路承受温度较低的不兼......
通过修正的Landau-Devonshire热力学模型构建了PbZr0.4Ti0.6O3/SrTiO3异质结的电滞回线方程,得到了剩余极化强度Pr、矫顽电场Ec和......
采用溶胶–凝胶工艺在Pt/Ti/Si O2/Si基片上,通过引入钽镁酸钡[Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,BMT]缓冲层,制备了锆钛酸铅[Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,......
LaNiO3氧化物具有优良的室温导电性能,且具有与PZT等铁电材料相似的钙钛矿结构,被认为是理想的电极和缓冲层材料.在Si基板上制备取......
研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅（Pb（Zrr,Ti1-x）O3,PZT）薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试.根据分子式设计了溶液的成分及配比,配......
采用对靶溅射法在SiO2／Si基板上沉积Pt／Ti底电极。用射频（RF）溅射法在Pt／Ti／SiO2／Si基板上制备了厚度约800nm的PZT薄膜。XRD分析表明，Ar气......
