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超光滑高精度微晶玻璃的平面抛光工艺
介绍了一种新型的定偏心式的锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立了平面材料去除和抛光轨迹的数学模型的基础上,对微晶玻璃进行工艺......
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