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介绍一种新型的定偏心式的锡盘的超精密平面抛光工艺。在表面成形模型的基础上，对定偏心抛光方式进行分析、模拟计算，获得表面材料均......
该文介绍一种新型的定偏心式锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立平面成形的数学模型基础上，进行工艺实验，研究人员能够获得λ/10～λ/......
介绍了一种新型的定偏心式的锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立了平面材料去除和抛光轨迹的数学模型的基础上，对微晶玻璃进行了工......
本文使用超精密平面研磨机及锡磨盘进行超光滑表面的抛光研究，平面抛光中，锡磨盘表面的形貌和加工状况直接影响被加工工件的表面平面......
