镀膜装置相关论文
本文介绍了基于速度调整的技术的均匀软X射线多层膜制备方法,并利用改进后的磁腔溅射镀膜装置,在φ150mm硅片上进行了13nm Mo/Si多......
近年来，光学薄膜市场对离子辅助蒸镀装置不断有更高的要求。包括镀膜装置的大型化，高速化，以提高产能。另外，如何提高膜材利用率，以......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
一种镀膜装置中的遮板，是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层，其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成，同心圆弧线的弧度......
一种选择性镀膜装置，由一真空腔室，一旋转支撑组件，复数个承盘，复数个基材整合体与蒸镀源所共同组成；旋转支撑组件包含马达和支撑架；基材......
双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置由转动驱动轴、基片导轨以及基片构成，还包括：圆筒形靶材、圆筒形热屏蔽层和由多根加热丝围成的......
镀膜装置及镀膜方法，镀膜装置包含转盘、遮板及镀材源；转盘是能规律旋转；遮板是依照镀膜层的特定厚度而设成，且设置于靠近基板的位置；镀......
2016年6月30日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所承担的中国科学院科研装备研制项目——“高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀......
<正> 1990年初,欧洲的巴尔采司(Baizers)公司推出的 CLC9300型真空溅射镀装置已被人们誉为90年代的最新产品。巴尔采司公司是当今......
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应用CF_4、C_4F_8、CF_3I等反应气体SiO_2、单晶硅进行刻蚀研究.研究了刻蚀速率与离子能量、束流密度、入射角的关系、所得 SiO_2......
